光学 精密工程, 2016, 24 (6): 1382, 网络出版: 2016-08-18
SOI压阻传感器的阳极键合结合面检测
Detection of anodic bonding joint surface for SOI piezoresistive sensor
绝缘体上硅(SOI) 压阻传感器 芯片 封装质量 视觉检测 阳极键合 Silicon On Insulator (SOI) piezoresistive sensor chip packaging quality visual detection anodic bonding
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