光学非球面三坐标测量中的像散补偿

范晓明; 罗词金; 徐学科; 吴令奇; 胡晨

doi:doi:10.3788/ope.20162412.3012

光学精密工程, 2016, 24 (12): 3012, 网络出版: 2017-01-23

光学非球面三坐标测量中的像散补偿

Compensation of astigmatism in coordinate measurement for optical aspheric elements

范晓明 ¹罗词金 ^1,2,*徐学科 ²吴令奇 ²胡晨 ²

作者单位

¹ 武汉理工大学材料科学与工程学院, 湖北武汉 430070

² 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800

引用该论文

范晓明, 罗词金, 徐学科, 吴令奇, 胡晨. 光学非球面三坐标测量中的像散补偿[J]. 光学精密工程, 2016, 24(12): 3012.

FAN Xiao-ming, LUO Ci-jin, XU Xue-ke, WU Ling-qi, HU Chen. Compensation of astigmatism in coordinate measurement for optical aspheric elements[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(12): 3012.

引用列表

1、光学加工过程中高次非球面的三坐标测量数据处理中国光学, 2020, 13 (2): 302

2、非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用红外与激光工程, 2017, 46 (11): 1118003

范晓明, 罗词金, 徐学科, 吴令奇, 胡晨. 光学非球面三坐标测量中的像散补偿[J]. 光学精密工程, 2016, 24(12): 3012. FAN Xiao-ming, LUO Ci-jin, XU Xue-ke, WU Ling-qi, HU Chen. Compensation of astigmatism in coordinate measurement for optical aspheric elements[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(12): 3012.

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