硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化

赵健; 苏岩; 赵阳; 夏国明

doi:doi:10.3788/ope.20142206.1500

光学精密工程, 2014, 22 (6): 1500, 网络出版: 2014-06-30

硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化

Parameter optimization of drive circuit in silicon resonant accelerometer

赵健 ^*苏岩赵阳夏国明

作者单位

南京理工大学 MEMS惯性技术研究中心, 江苏南京 210094

基本信息

DOI:	10.3788/ope.20142206.1500
中图分类号:	TH824.4
栏目:	微纳技术与精密机械
项目基金:	国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2011AA040402)
收稿日期:	2013-11-21
修改稿日期:	2014-01-09
网络出版日期:	2014-06-30
通讯作者:	赵健 (elfevil007@126.com)
备注:	--

赵健, 苏岩, 赵阳, 夏国明. 硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化[J]. 光学精密工程, 2014, 22(6): 1500. ZHAO Jian, SU Yan, ZHAO Yang, XIA Guo-ming. Parameter optimization of drive circuit in silicon resonant accelerometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(6): 1500.