光学 精密工程, 2014, 22 (6): 1500, 网络出版: 2014-06-30
硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化
Parameter optimization of drive circuit in silicon resonant accelerometer
Metrics
摘要访问:4865次
PDF 下载:6次
全文浏览:1次
总被查询:0次
赵健, 苏岩, 赵阳, 夏国明. 硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化[J]. 光学 精密工程, 2014, 22(6): 1500. ZHAO Jian, SU Yan, ZHAO Yang, XIA Guo-ming. Parameter optimization of drive circuit in silicon resonant accelerometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(6): 1500.