硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化

赵健; 苏岩; 赵阳; 夏国明

doi:doi:10.3788/ope.20142206.1500

光学精密工程, 2014, 22 (6): 1500, 网络出版: 2014-06-30

硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化

Parameter optimization of drive circuit in silicon resonant accelerometer

赵健 ^*苏岩赵阳夏国明

作者单位

南京理工大学 MEMS惯性技术研究中心, 江苏南京 210094

图 & 表

赵健, 苏岩, 赵阳, 夏国明. 硅微谐振式加速度计驱动电路参数优化[J]. 光学精密工程, 2014, 22(6): 1500. ZHAO Jian, SU Yan, ZHAO Yang, XIA Guo-ming. Parameter optimization of drive circuit in silicon resonant accelerometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(6): 1500.