数字微镜器件用于并行共焦测量的再研究

余卿; 余晓芬; 刘文文; 程伶俐

doi:doi:10.3788/aos201131.0523005

光学学报, 2011, 31 (5): 0523005, 网络出版: 2011-05-09

数字微镜器件用于并行共焦测量的再研究

Re-Studies on Parallel Confocal Measurement System with Digital Micromirror Device

余卿 ^*余晓芬刘文文程伶俐

作者单位

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽合肥 230009

图 & 表

余卿, 余晓芬, 刘文文, 程伶俐. 数字微镜器件用于并行共焦测量的再研究[J]. 光学学报, 2011, 31(5): 0523005. Yu Qing, Yu Xiaofen, Liu Wenwen, Cheng Lingli. Re-Studies on Parallel Confocal Measurement System with Digital Micromirror Device[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(5): 0523005.