光学 精密工程, 2009, 17 (1): 158, 网络出版: 2009-10-09
高精度大口径光栅拼接装置的控制算法
Design method of controlling device for tiling high pecision and large aperture grating
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O436.1 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.50705023)。 |
收稿日期: | 2008-03-14 |
修改稿日期: | 2008-07-02 |
网络出版日期: | 2009-10-09 |
通讯作者: | 邵忠喜 (shaozhongxi78@163.com) |
备注: | -- |
邵忠喜, 张庆春, 白清顺, 富宏亚. 高精度大口径光栅拼接装置的控制算法[J]. 光学 精密工程, 2009, 17(1): 158. SHAO Zhong-xi, ZHANG Qing-chun, BAI Qing-shun, FU Hong-ya. Design method of controlling device for tiling high pecision and large aperture grating[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(1): 158.