红外与毫米波学报, 2018, 37 (6): 679, 网络出版: 2018-12-26  

InAs/AlSb 异质结的Pd/Ti/Pt/Au 合金化欧姆接触

Pd/Ti/Pt/Au alloyed ohmic contact for InAs/AlSb heterostructures with the undoped InAs cap layer
作者单位
1 西安电子科技大学 宽带隙半导体技术国家重点学科实验室, 陕西 西安 710071
2 中国科学院半导体研究所, 超晶格国家重点实验室, 北京 100083
基本信息
DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2018.06.007
中图分类号: TN304.2, TN305
栏目:
项目基金: Supported by Advanced Research Foundation of China (914xxx803-051xxx111), National Defense Advanced Research project (315xxxxx301), and National Defense Innovation Program (48xx4)
收稿日期: 2018-01-19
修改稿日期: 2018-04-11
网络出版日期: 2018-12-26
通讯作者: 吕红亮 (hllv@mail.xidian.edu.cn)
备注: --

张静, 吕红亮, 倪海桥, 牛智川, 张义门, 张玉明. InAs/AlSb 异质结的Pd/Ti/Pt/Au 合金化欧姆接触[J]. 红外与毫米波学报, 2018, 37(6): 679. ZHANG Jing, LYU Hong-Liang, NI Hai-Qiao, NIU Zhi-Chuan, ZHANG Yi-Men, ZHANG Yu-Ming. Pd/Ti/Pt/Au alloyed ohmic contact for InAs/AlSb heterostructures with the undoped InAs cap layer[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2018, 37(6): 679.

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