应用激光, 2014, 34 (6): 557, 网络出版: 2015-01-13
水射流对于激光刻蚀晶体硅影响的试验研究
Experimental Study about Effect of Water-Jet to Laser Etching of Crystal Silicon
基本信息
| DOI: | 10.3788/al20143406.557 |
| 中图分类号: | TG665 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(项目编号: 51175229)、安徽高校自然科学研究省级重点资助项目(项目编号: KJ2011A062)、安徽省自然科学基金资助项目(项目编号: 1208085ME79) |
| 收稿日期: | 2014-07-03 |
| 修改稿日期: | 2014-11-04 |
| 网络出版日期: | 2015-01-13 |
| 通讯作者: | 张崇天 (zbjwxhn@163.com) |
| 备注: | -- |
张崇天, 袁根福, 陈雪辉, 张程, 王海云. 水射流对于激光刻蚀晶体硅影响的试验研究[J]. 应用激光, 2014, 34(6): 557. Zhang Chongtian, Yuan Genfu, Chen Xuehui, Zhang Cheng, Wang Haiyun. Experimental Study about Effect of Water-Jet to Laser Etching of Crystal Silicon[J]. APPLIED LASER, 2014, 34(6): 557.
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