1 安徽建筑大学 激光先进制造技术研究中心,安徽 合肥 230022
2 南京理工大学,江苏 南京 210094
对比研究硅晶体激光直接刻蚀与水射流辅助激光复合刻蚀表面形貌,发现水射流与激光复合刻蚀能够有效去除重铸层并减少裂纹缺陷。研究了水射流流量对刻蚀微观形貌及刻槽深度的影响,结果表明,适当提高水射流的流速有利于改善刻蚀槽体的质量,同时水射流流速在一定程度上会影响到槽体深度,使槽体深度随着流速的提高出现先降后升的规律。最后对水射流的入射角与槽体截面形状关系进行了初步探讨性研究。
水射流与激光复合刻蚀 水射流 硅晶体 water jet and laser combined etching water jet crystal silicon
燕山大学信息科学与工程学院红外光纤与传感研究所, 河北 秦皇岛 066004
以多极法理论为基础,提出了一种阶梯结构的光子晶体光纤。通过改变其内四层的三个结构参量(内两层孔孔径,外两层孔孔径和孔间距),实现色散绝对值在1.1～1.8 μm 的波段内变化仅为0.05～2 ps/(km·nm)的平坦甚至超平坦的特性。在此情况下对其有效模场面积进行数值模拟,充分展示了达到色散平坦和超平坦时,相对于传统光子晶体光纤,此种结构的光纤对芯区内光场的局域能力有很大程度的增强,其有效模场面积可仅为传统光子晶体光纤的1/30。最后,经过大量的数值计算和理论分析,归纳出若要此种阶梯结构的光纤在1.1~1.8 μm的波段内达到色散平坦甚至超平坦特性的设计依据。
光子晶体光纤 多极法 超平坦色散 有效模场面积 设计依据
