基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法

刘鑫; 张满; 庞辉; 史立芳; 曹阿秀; 邓启凌

doi:doi:10.3788/gzxb20164506.0605001

光子学报, 2016, 45 (6): 0605001, 网络出版: 2016-07-26

基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法

Fabrication of Large-angle Diffractive Optical Element Based on Nanoimprint Lithography

刘鑫 ^*张满庞辉史立芳曹阿秀邓启凌

作者单位

中国科学院光电技术研究所，成都 610209

引用该论文

刘鑫, 张满, 庞辉, 史立芳, 曹阿秀, 邓启凌. 基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法[J]. 光子学报, 2016, 45(6): 0605001.

LIU Xin, ZHANG Man, PANG Hui, SHI Li-fang, CAO A-xiu, DENG Qi-ling. Fabrication of Large-angle Diffractive Optical Element Based on Nanoimprint Lithography[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2016, 45(6): 0605001.

引用列表

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3、紫外光固化有机-无机纳米复合材料成型衍射光学元件制造技术光学学报, 2019, 39 (7): 0722001

4、离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件光子学报, 2018, 47 (12): 1214003

5、添加剂对纳米压印模板光栅结构填充效果的改善作用光子学报, 2018, 47 (9): 905001

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刘鑫, 张满, 庞辉, 史立芳, 曹阿秀, 邓启凌. 基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法[J]. 光子学报, 2016, 45(6): 0605001. LIU Xin, ZHANG Man, PANG Hui, SHI Li-fang, CAO A-xiu, DENG Qi-ling. Fabrication of Large-angle Diffractive Optical Element Based on Nanoimprint Lithography[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2016, 45(6): 0605001.

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