光子学报, 2016, 45 (6): 0605001, 网络出版: 2016-07-26
基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法
Fabrication of Large-angle Diffractive Optical Element Based on Nanoimprint Lithography
基本信息
DOI: | 10.3788/gzxb20164506.0605001 |
中图分类号: | TN205 |
栏目: | |
项目基金: | 国家自然科学基金(No.61505204)资助 |
收稿日期: | 2015-11-24 |
修改稿日期: | 2015-12-24 |
网络出版日期: | 2016-07-26 |
通讯作者: | 刘鑫 (676612082@qq.com) |
备注: | -- |
刘鑫, 张满, 庞辉, 史立芳, 曹阿秀, 邓启凌. 基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法[J]. 光子学报, 2016, 45(6): 0605001. LIU Xin, ZHANG Man, PANG Hui, SHI Li-fang, CAO A-xiu, DENG Qi-ling. Fabrication of Large-angle Diffractive Optical Element Based on Nanoimprint Lithography[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2016, 45(6): 0605001.