光学 精密工程, 2012, 20 (5): 1069, 网络出版: 2012-08-08
微机电系统光学组件的系统级建模
System-level modeling for MEMS optical components
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李晓莹, 李慧敏, 常洪龙, 何洋, 焦文龙. 微机电系统光学组件的系统级建模[J]. 光学 精密工程, 2012, 20(5): 1069. LI Xiao-ying, LI Hui-min, CHANG Hong-long, HE Yang, JIAO Wen-long. System-level modeling for MEMS optical components[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(5): 1069.
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