中国光学, 2019, 12 (4): 741, 网络出版: 2019-09-10
光栅精密位移测量技术发展综述
Development of grating-based precise displacement measurement technology
基本信息
| DOI: | 10.3788/co.20191204.0741 |
| 中图分类号: | TP29 |
| 栏目: | 综述 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(No.51505078) 、 吉林省科技厅优秀青年人才基金(No.20180520187JH)、 吉林省教育厅“十三五”科学技术项目基金(No.JJKH20190544KJ)、 中国博士后面上基金(No.2018M641778) |
| 收稿日期: | 2018-11-07 |
| 修改稿日期: | 2018-12-29 |
| 网络出版日期: | 2019-09-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
高旭, 李舒航, 马庆林, 陈伟. 光栅精密位移测量技术发展综述[J]. 中国光学, 2019, 12(4): 741. GAO Xu, LI Shu-Hang, MA Qing-lin, CHEN Wei. Development of grating-based precise displacement measurement technology[J]. Chinese Optics, 2019, 12(4): 741.
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