中国光学, 2019, 12 (4): 741, 网络出版: 2019-09-10
光栅精密位移测量技术发展综述
Development of grating-based precise displacement measurement technology
图 & 表
高旭, 李舒航, 马庆林, 陈伟. 光栅精密位移测量技术发展综述[J]. 中国光学, 2019, 12(4): 741. GAO Xu, LI Shu-Hang, MA Qing-lin, CHEN Wei. Development of grating-based precise displacement measurement technology[J]. Chinese Optics, 2019, 12(4): 741.