光学 精密工程, 2008, 16 (4): 605, 网络出版: 2008-08-17
硅片激光弯曲成形的数值模拟与实验
Simulation and experiment of laser bending of silicon sheet
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN249 |
栏目: | 现代应用光学 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.50390061)、国家"863"高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA421230)、辽宁省自然科学基金资助项目(No.20062181) |
收稿日期: | 2007-09-24 |
修改稿日期: | 2007-11-01 |
网络出版日期: | 2008-08-17 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
王续跃, 许卫星, 徐文骥, 吴东江, 康仁科, 郭东明. 硅片激光弯曲成形的数值模拟与实验[J]. 光学 精密工程, 2008, 16(4): 605. 王续跃, 许卫星, 徐文骥, 吴东江, 康仁科, 郭东明. Simulation and experiment of laser bending of silicon sheet[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(4): 605.