中国激光, 2015, 42 (7): 0703006, 网络出版: 2022-09-24
激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟
Simulation of Temperature Field for Laser Etching of Aluminum Thin Films on Polyimide Substrate
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201542.0703006 |
| 中图分类号: | O437 |
| 栏目: | 激光加工与应用 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(51135005) |
| 收稿日期: | 2015-01-30 |
| 修改稿日期: | 2015-03-19 |
| 网络出版日期: | 2022-09-24 |
| 通讯作者: | 刘孝丽 (shantianzi@126.com) |
| 备注: | -- |
刘孝丽, 熊玉卿, 杨建平, 王瑞, 吴敢, 任妮. 激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟[J]. 中国激光, 2015, 42(7): 0703006. Liu Xiaoli, Xiong Yuqing, Yang Jianping, Wang Rui, Wu Gan, Ren Ni. Simulation of Temperature Field for Laser Etching of Aluminum Thin Films on Polyimide Substrate[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(7): 0703006.
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