中国激光, 2015, 42 (7): 0703006, 网络出版: 2022-09-24
激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟
Simulation of Temperature Field for Laser Etching of Aluminum Thin Films on Polyimide Substrate
薄膜 激光刻蚀 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 分离机制 thin films laser etching aluminum thin films polyimide temperature field separation mechanism
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