CZT晶体用化学机械抛光液的制备及其性能研究

敖孟寒; 朱丽慧; 孙士文; 虞慧娴

doi:doi:10.3969/j.issn.1672-8785.2015.05.002

红外, 2015, 36 (5): 8, 网络出版: 2015-05-26

CZT晶体用化学机械抛光液的制备及其性能研究

Research on Chemical-mechanical Planarization Slurry of CdZnTe

敖孟寒 ^1,2,*朱丽慧 ¹孙士文 ²虞慧娴 ²

作者单位

¹ 上海大学材料科学与工程学院, 上海 200072

² 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083

基本信息

DOI:	10.3969/j.issn.1672-8785.2015.05.002
中图分类号:	TN308
栏目:
项目基金:	中国科学院红外成像材料与器件重点实验室开放基金项目
收稿日期:	2015-04-22
修改稿日期:	--
网络出版日期:	2015-05-26
通讯作者:	敖孟寒 (13651818246@163.com)
备注:	--

敖孟寒, 朱丽慧, 孙士文, 虞慧娴. CZT晶体用化学机械抛光液的制备及其性能研究[J]. 红外, 2015, 36(5): 8. AO Meng-han, ZHU Li-hui, SUN Shi-wen, YU Hui-xian. Research on Chemical-mechanical Planarization Slurry of CdZnTe[J]. INFRARED, 2015, 36(5): 8.