红外, 2015, 36 (5): 8, 网络出版: 2015-05-26
CZT晶体用化学机械抛光液的制备及其性能研究
Research on Chemical-mechanical Planarization Slurry of CdZnTe
图 & 表
敖孟寒, 朱丽慧, 孙士文, 虞慧娴. CZT晶体用化学机械抛光液的制备及其性能研究[J]. 红外, 2015, 36(5): 8. AO Meng-han, ZHU Li-hui, SUN Shi-wen, YU Hui-xian. Research on Chemical-mechanical Planarization Slurry of CdZnTe[J]. INFRARED, 2015, 36(5): 8.