应用激光, 2010, 30 (6): 488, 网络出版: 2011-03-24  

利用1070nm光纤激光器加工氧化铝陶瓷精密划线

Research of Ceramic Precise Scribing by Fiber Laser
作者单位
1 华中科技大学激光加工国家工程研究中心,湖北 武汉 430074
2 武汉华工激光工程有限责任公司,湖北 武汉 430223
3 西安理工大学理学院,陕西 西安 710048
摘要
传统的激光器作为光源对Al2O3陶瓷进行划线时,线宽满足不了精密划线的加工要求。现采用光纤激光作为光源对Al2O3陶瓷进行了划线的实验研究,分析了不同工艺参数对划线效果的影响。在功率100W,占空比30%,速度2400mm/min,频率800Hz,气压0.15Mpa的参数下,获得了20um的划线宽度、0.22mm的划线深度的划线样品。结合实际加工要求,给出了最佳的工艺参数,并提出了后续尚待改进的问题。
Abstract
The traditional lasers as light source, on Al2O3 ceramic scribing, the line width can not meet the requirement of precise scribing. In this paper, experiment research on Al2O3 ceramic scribing by fiber laser has been studied. The processing effects influenced by different parameters also has been discussed. At the parameter of 100w power、30% duty ratio、2400mm/min speed、800Hz frequence、0.15Mpa pressure, we get an ideal scribing sample with 20um of line width, 0.22mm of scribing depth. light of the actual processing requirements, the optimum processing parameters were given, and made fllowup has yet to be improving.
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