光学技术, 2009, 35 (3): 367, 网络出版: 2010-01-12
基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*
Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TH74 |
栏目: | |
项目基金: | 863计划资助项目(2006AA02Z4D2);山东省重点实验室资助项目;烟台大学青年基金资助项目 |
收稿日期: | 2008-06-30 |
修改稿日期: | 2008-10-22 |
网络出版日期: | 2010-01-12 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
胡自强, 凌宁, 潘君骅, 姜文汉. 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*[J]. 光学技术, 2009, 35(3): 367. HU Zi-qiang, LING Ning, PAN Jun-hua, JIANG Wen-han. Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J]. Optical Technique, 2009, 35(3): 367.