基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*
胡自强, 凌宁, 潘君骅, 姜文汉. 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*[J]. 光学技术, 2009, 35(3): 367.
HU Zi-qiang, LING Ning, PAN Jun-hua, JIANG Wen-han. Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J]. Optical Technique, 2009, 35(3): 367.
[1] 倪颖，余景池，郭培基，等.小型非球面轮廓测量仪的原理及应用［J］.光学精密工程，2003，11（6）：612—616.
[2] 张学军，张云峰，余景池，等.FsGJ-1非球面自动加工及在线检测系统［J］.光学精密工程，1997，5（6）：70—76.
[3] 曾志革，邓建明，李晓今，等能动抛光盘的变形实验研究［J］.强激光与粒子束，2004，16（5）：555—559.
[4] 潘君骅.成像光学工程面临的光学问题［J］.中国工程科学，2000,2（3）：32—35.
[5] Hu Z Q,Ling N.Novel method of designing deformable polishing lap［J］.SPIE，2007，67223C：1—7.
胡自强, 凌宁, 潘君骅, 姜文汉. 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*[J]. 光学技术, 2009, 35(3): 367. HU Zi-qiang, LING Ning, PAN Jun-hua, JIANG Wen-han. Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J]. Optical Technique, 2009, 35(3): 367.
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