基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*

胡自强; 凌宁; 潘君骅; 姜文汉

光学技术, 2009, 35 (3): 367, 网络出版: 2010-01-12

基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*

Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap

胡自强 ^1,2,3凌宁 ⁴潘君骅 ¹姜文汉 ¹

作者单位

¹ 中国科学院成都光电所，成都 610209

² 苏州大学现代光学技术研究所，苏州 215006

³ 烟台大学光电信息学院，烟台 264001

⁴ 中国科学院研究生院，北京 100039

图 & 表

胡自强, 凌宁, 潘君骅, 姜文汉. 基于PZT的非球面能动抛光盘设计优化*[J]. 光学技术, 2009, 35(3): 367. HU Zi-qiang, LING Ning, PAN Jun-hua, JIANG Wen-han. Optimization design of PZT actuated deformable aspheric polishing lap[J]. Optical Technique, 2009, 35(3): 367.