中国激光, 2010, 37 (10): 2582, 网络出版: 2010-09-25
用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法
Optical Circuit Integrated Method of Single-Frequency Polarization Laser Interferometer for Nanometer Measurement
基本信息
DOI: | 10.3788/cjl20103710.2582 |
中图分类号: | TH744.3 |
栏目: | 测量与计量 |
项目基金: | 国家自然科学基金(60807032,60877046)资助课题。 |
收稿日期: | 2010-01-27 |
修改稿日期: | 2010-03-25 |
网络出版日期: | 2010-09-25 |
通讯作者: | 刘彬彬 (liubin1982@126.com) |
备注: | -- |
刘彬彬, 李立艳, 杨军, 苑立波. 用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法[J]. 中国激光, 2010, 37(10): 2582. Liu Binbin, Li Liyan, Yang Jun, Yuan Libo. Optical Circuit Integrated Method of Single-Frequency Polarization Laser Interferometer for Nanometer Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2010, 37(10): 2582.