用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法

刘彬彬; 李立艳; 杨军; 苑立波

doi:doi:10.3788/cjl20103710.2582

中国激光, 2010, 37 (10): 2582, 网络出版: 2010-09-25

用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法

Optical Circuit Integrated Method of Single-Frequency Polarization Laser Interferometer for Nanometer Measurement

刘彬彬 ^*李立艳杨军苑立波

作者单位

哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心, 黑龙江哈尔滨 150001

图 & 表

刘彬彬, 李立艳, 杨军, 苑立波. 用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法[J]. 中国激光, 2010, 37(10): 2582. Liu Binbin, Li Liyan, Yang Jun, Yuan Libo. Optical Circuit Integrated Method of Single-Frequency Polarization Laser Interferometer for Nanometer Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2010, 37(10): 2582.