中国激光, 2010, 37 (10): 2582, 网络出版: 2010-09-25   

用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法

Optical Circuit Integrated Method of Single-Frequency Polarization Laser Interferometer for Nanometer Measurement
作者单位
哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心, 黑龙江 哈尔滨 150001
引用该论文

刘彬彬, 李立艳, 杨军, 苑立波. 用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法[J]. 中国激光, 2010, 37(10): 2582.

Liu Binbin, Li Liyan, Yang Jun, Yuan Libo. Optical Circuit Integrated Method of Single-Frequency Polarization Laser Interferometer for Nanometer Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2010, 37(10): 2582.

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