基于频域分析的抗振移相干涉测量

刘乾; 王洋; 吉方; 何建国; 张连新

doi:doi:10.3788/ope.20152301.0252

光学精密工程, 2015, 23 (1): 252, 网络出版: 2015-02-15

基于频域分析的抗振移相干涉测量

Vibration-insensitive phase-shifting interferometry based on frequency domain analysis

刘乾 ^*王洋吉方何建国张连新

作者单位

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 四川绵阳 621900

引用该论文

刘乾, 王洋, 吉方, 何建国, 张连新. 基于频域分析的抗振移相干涉测量[J]. 光学精密工程, 2015, 23(1): 252.

LIU Qian, WANG Yang, JI Fang, HE Jian-guo, ZHANG Lian-xin. Vibration-insensitive phase-shifting interferometry based on frequency domain analysis[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(1): 252.

引用列表

1、一种小幅度步距相移干涉算法的相移误差分析光子学报, 2022, 51 (11): 1112003

2、基于三维傅里叶变换的胸腹表面测量光学精密工程, 2018, 26 (4): 778

3、双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较中国光学, 2016, 9 (4): 483

4、微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正光学精密工程, 2015, 23 (10): 2794

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