光学 精密工程, 2015, 23 (1): 252, 网络出版: 2015-02-15
基于频域分析的抗振移相干涉测量
Vibration-insensitive phase-shifting interferometry based on frequency domain analysis
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20152301.0252 |
| 中图分类号: | TH744.3 |
| 栏目: | 信息科学 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项资助项目(No.2013ZX04006011) |
| 收稿日期: | 2014-08-20 |
| 修改稿日期: | 2014-10-11 |
| 网络出版日期: | 2015-02-15 |
| 通讯作者: | 刘乾 (liuqianblue@126.com) |
| 备注: | -- |
刘乾, 王洋, 吉方, 何建国, 张连新. 基于频域分析的抗振移相干涉测量[J]. 光学 精密工程, 2015, 23(1): 252. LIU Qian, WANG Yang, JI Fang, HE Jian-guo, ZHANG Lian-xin. Vibration-insensitive phase-shifting interferometry based on frequency domain analysis[J]. Optics and Precision Engineering, 2015, 23(1): 252.
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