半导体光电, 2020, 41 (3): 443, 网络出版: 2020-06-18  

多环谐振式微机械陀螺频率跟踪电路研究

Research on Frequency Tracking Circuit of Multi-ring Resonant Micromachined Gyro
作者单位
1 上海交通大学 1. 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240
2 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 上海 200240
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