1 上海交通大学 1. 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240
2 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 上海 200240
由于多环谐振式微机械陀螺的谐振频率较高, 传统的数字控制电路对陀螺幅点信号的频率跟踪难以同时兼顾精度和速度的要求。在传统半球陀螺数字控制电路的基础上, 提出了一种适用于多环谐振式微机械陀螺仪的频率跟踪电路, 并首次运用于多环谐振式微机械陀螺。该电路以高速A/D转换电路为基础, 通过对幅点信号高速采样计算频率和相位信息, 并通过CORDIC算法产生输出信号。测试结果显示, 该电路使多环谐振式微机械陀螺幅点信号的频率跟踪精度达到了0.78Hz, 频率跟踪时间小于40μs, 使控制电路的性能得到了极大提升。
多环谐振式微机械陀螺 频率跟踪电路 控制电路 A/D转换 mult-ring resonant micromechanical gyroscope frequency tracing circuit control circuit A/D convert CORDIC CORDIC
