红外技术, 2019, 41 (10): 902, 网络出版: 2019-12-05
离子束溅射 Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用
Ion Beam Sputtering Alumina Film and Application in Sapphire Optical Windows
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O484.1 |
栏目: | 材料与器件 |
项目基金: | 国防基础科研计划资助。 |
收稿日期: | 2019-05-01 |
修改稿日期: | 2019-10-08 |
网络出版日期: | 2019-12-05 |
通讯作者: | 米高园 (migaoyuan@163.com) |
备注: | -- |
米高园, 杨崇民, 张建付, 王松林, 刘青龙, 朱筱群, 李明伟. 离子束溅射 Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用[J]. 红外技术, 2019, 41(10): 902. MI Gaoyuan, YANG Chongmin, ZHANG Jianfu, WANG Songlin, LIU Qinglong, ZHU Xiaoqun, LI Mingwei. Ion Beam Sputtering Alumina Film and Application in Sapphire Optical Windows[J]. Infrared Technology, 2019, 41(10): 902.