红外技术, 2019, 41 (10): 902, 网络出版: 2019-12-05   

离子束溅射 Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用

Ion Beam Sputtering Alumina Film and Application in Sapphire Optical Windows
作者单位
西安应用光学研究所, 陕西西安 710065
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