光学学报, 2013, 33 (1): 0111003, 网络出版: 2012-12-14
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
Projection Lens Wave-Front Aberration Measurement Method Based on Adaptive Aerial Image Denoising
成像系统 光刻机 波像差检测 加权最小二乘法 空间像 降噪 imaging systems microlithographic system wave-front aberration measurement weighted least square aerial image denoising
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