激光与光电子学进展, 2020, 57 (3): 032501, 网络出版: 2020-02-17
离子束抛光等量去除的实现及抛光实验 
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Ion Beam Polishing Equivalent Removal and Polishing Experiments
光电子学 光学加工设备 离子束抛光 去除函数 叠加间距 等量去除 optoelectronics optical processing equipment ion beam polishing removal function stacking spacing equivalent removal
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