用射频-直流辉光放电PECVD法在KCl透镜上沉积了非晶结构的类金刚石碳膜.测量显示镀覆了类金刚碳膜的KCl透镜在2.5μm~50μm红外范围内具有高增透作用.由红外透射谱分析得到膜中SP3键占主导地位.
等离子体 类金刚石膜 红外透射谱
用射频直流磁控溅射法在硅、石英基片上制备碳氮膜;采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)技术,对基片上的碳氮膜进行红外光吸收谱测量,发现所制备的膜中有β相的C3N4;用硬度计测量镀膜后的硬度,均比镀膜前有所增强;对所制备的膜进行热处理,结果发现热处理前膜的红外吸收谱与热处理后的红外吸收谱相比没有变化,说明膜的热稳定性较好,可以作为红外光学材料.
碳氮膜 磁控溅射 红外光吸收谱