作者单位
摘要
复旦大学微电子学院,上海 201203

光刻技术是半导体集成电路技术发展的主要推动技术,其不断提高的分辨率与图形复制精度成功地将集成电路制造线宽从40多年前的2~3 μm缩小到先进的10~15 nm。在发展过程中,众多先进的技术不断涌现,如投影式光刻、相移掩模版、化学放大型光刻胶、光学邻近效应修正等,及时确保了摩尔法则按时向前推进。以投影光刻发展的历史为主线,从0.25 μm到当今的5 nm再到未来的先进技术节点,对每个关键的技术节点的工艺要求与工艺窗口进行分析,包括采用的新技术及其作用,以展示光刻工艺与相关技术的整体面貌,给读者专业技术的参考。

光刻 光刻工艺 光刻机 光刻胶 掩模版 
激光与光电子学进展
2022, 59(9): 0922006
作者单位
摘要
1 海军航空大学,山东 烟台 264001
2 解放军91423部队,山东 莱阳 265201
针对在湍流信道下空间脉冲位置调制(SPPM)系统误码性能较差的问题,文章将空时分组码与空间调制技术结合,提出了基于比特补码正交空时分组码的空间脉冲位置调制(BCOSTBC-SPPM),利用空时编码增加信息冗余度以改善系统误码性能。同时基于最大似然(ML)检测推导了系统的理论误比特率上界,并通过蒙特卡洛仿真对理论上界进行了验证。仿真结果表明,BCOSTBC-SPPM的误码性能相比SPPM有较大提升。在弱湍流信道下,当系统误比特率为10-4时,(4,2,4)-BCOSTBC-SPPM相比(4,1,4)-SPPM信噪比改善约10 dB。该方式相较于传统正交空时编码方案在频谱效率方面有一定提升,实现了系统有效性和可靠性的合理权衡。
大气激光通信 空间调制 正交空时编码 空间脉冲位置调制 atmospheric laser communications spatial modulation orthogonal space-time block code SPPM 
光通信研究
2021, 47(2): 14
作者单位
摘要
1 广东技术师范学院汽车学院, 广东 广州 510635
2 华南理工大学机械与汽车工程学院, 广东 广州 510640
采用CO2激光焊接汽车专用高强钢,得到了性能良好的激光焊接件。为了提高本试验的测量精度,对测量残余应力的小孔法作了必要的修正。使用ANSYS软件对激光焊接残余应力进行了有限元分析,仿真结果与修正后的测试值吻合,在此基础上研究了高强钢激光焊接线能量对残余应力的影响规律。试验结果表明,纵向残余应力在距离焊缝中心约2.5 mm 处达到最大,距离焊缝越远残余应力值越小,并最终达到稳定;在被焊试件前添加引弧板,可以使焊接试件起始段的残余应力分布与稳定段接近,消除了起始段残余应力不稳定的现象;线能量增加,则横向残余应力逐渐增大,而纵向残余应力的最大值减小。
激光技术 激光焊接 高强钢 残余应力 线能量 
中国激光
2015, 42(6): 0603007
作者单位
摘要
1 广东技术师范学院汽车学院,广东 广州 510635
2 华南理工大学机械与汽车工程学院,广东 广州 510640
利用CO2激光器对汽车用高强钢板作了大量的热应力成形试验,并对材料进行了相关的微观组织分析。在深入研究试件弯曲角变化规律的基础上,对激光热应力成形的工艺参数进行了合理优化,即在激光功率为1.5 kW、扫描次数为6次、扫描速度为1.2 m/min以及激光光斑直径为3.5 mm、面能量在20~45 J/mm2范围之间变化时热应力成形效果最好,提出了避免工件表面出现烧蚀现象的条件。试验结果表明,在试验参数的有效范围内激光扫描次数、扫描速度和材料宽度对试件弯曲角的影响趋于正比关系;光斑直径在较大或较小时呈现类线性关系;激光功率的影响呈明显的非线性特点,但在较小的情况下与弯曲角接近线性关系;接近材料表面区域的微观晶粒细小,而距离越远碳化物析出越少。
激光技术 高强钢板 激光成形 热应力 
光学学报
2015, 35(s1): s114008
作者单位
摘要
1 广东技术师范学院 机电学院,广州 510635
2 湖南大学 汽车车身先进设计制造国家重点实验室,长沙 410082
3 华南理工大学 机械工程学院,广州 510641
为了研究汽车专用高强度镀锌钢板的CO2激光焊接性能,采用侧吹保护气体的方法,进行了大量的焊接试验,并对焊缝进行了显微组织分析和相关的机械性能试验。在试验的基础上,选择了焊接保护气体的种类,分析了热输入工艺参数对材料深熔焊接熔化特性的影响,解决了因锌的蒸发及环境中水分等因素的影响下,在激光焊接时焊缝中易于形成气孔的问题。结果表明,在侧吹保护气体的条件下,激光深熔焊接能有效地避免高强度镀锌钢热影响区的软化和控制焊缝气孔及焊接接头裂纹的产生。
激光技术 激光焊接 高强度镀锌钢 等离子体 接头性能 laser technique laser welding welding zinc coated high strength steel plasma joint performance 
激光技术
2007, 31(6): 0571
作者单位
摘要
1 湖南大学机械与汽车工程学院, 湖南 长沙 410082
2 华南理工大学机械工程学院, 广东 广州 510640
在热电偶标定测试的基础上,通过实验获得了焊缝热影响区的实际热循环曲线。将高温等离子体简化为点热源,薄板焊接时的热源简化为线状热源后,采用叠加原理建立激光焊接高强度镀锌钢热循环的数学模型。对模型进行了解析计算,获得了热影响区的理论热循环曲线。对比研究后认为,热循环数学模型能反应激光深熔焊接的实际热循环过程。焊缝显微组织中存在少量的马氏体的事实表明,激光焊接高强度镀锌钢的热循环特点是加热冷却速度快。
光学设计与制造 激光深熔焊接 高强度镀锌钢 热循环的测定 热源数学模型 
中国激光
2007, 34(s1): 284
作者单位
摘要
1 广东技术师范学院机电系, 广东 广州 510635
2 湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室, 湖南 长沙 410082
3 华南理工大学机械工程学院, 广东 广州 510640
利用CO2激光对汽车车身拼焊板进行了焊接实验,并对焊缝进行了显微组织分析和机械性能分析。采用Ar气作为焊接保护气体,能获得比采用N2气时更好的深冲性能;侧吹保护气体的方法能有效地控制焊缝中的锌含量。研究了焊接熔深和焊缝宽度随激光功率和焊接速度变化的规律。实验结果表明,在优化的工艺参数下,激光焊接车身拼焊板的焊缝中没有出现气孔、裂纹和热影响区(HAZ)软化等缺陷,拼焊板的深冲性能优良;拼焊板的成形性能取决于两种材料的强度比和厚度比, 焊缝易于向高强度镀锌钢板一侧偏移;普通钢板越薄,焊缝的偏移量越大。
激光技术 激光焊接 薄钢板 焊接工艺 锌行为 
中国激光
2007, 34(12): 1726
作者单位
摘要
1 湖南大学现代车身技术教育部重点实验室,湖南 长沙 410082
2 湖南大学激光研究所, 湖南 长沙 410082
利用CO2激光对汽车车身用1.5 mm厚高强度双面镀锌钢进行了大量的焊接实验,对焊缝组织进行了显微组织分析和相关的机械性能实验。从理论上推导了在一定焊接工艺条件下,稳定深熔焊接的下临界功率与焊接速度及焦点位置的关系。在同轴和侧吹保护气体的条件下,通过工艺参数优化,激光深熔焊接可以有效地避免高强度镀锌钢热影响区(HAZ) 的软化现象以及焊缝气孔的有效控制。锌不稳定的急剧气化,使热影响区扩大和焊接稳定性降低,聚焦镜的保护难度加大,采取了有效措施加以控制。实验结果表明,用氮气作为保护气体,在激光功率1300 W,焊接速度0.8~1.1 m/min,焦点位置在工件表面下0.4 mm处时,得到了满意的焊接质量。焊缝的硬度接近母材硬度的2倍。
激光技术 激光深熔焊接 高强度镀锌钢 锌行为 热影响区软化 
中国激光
2006, 33(8): 1133
作者单位
摘要
1 复旦大学物理系, 上海 200433
2 中国科学院北京感光化学研究所, 北京 100101
报道一种高效光子选通光谱烧孔材料四苯并卟啉锌/巴豆酸/苯氧树脂(ZnTBP/CA/PhR)薄膜的频域光存储性能和机制的研究结果。
四苯并卟啉锌/巴豆酸/苯氧树脂(ZnTBP/CA/PhR) 光子选通光谱烧孔 给体-受体电子转移(DA-ET) 
中国激光
1994, 21(8): 661

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