1 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 中国科学院自动化研究所 精密感知与控制中心, 北京 100190
3 哈尔滨工业大学 光电测控技术与装备研究所, 哈尔滨 150001
根据美国NIF点火基准靶REV4.0要求, 对半腔套装工艺进行了具体的参数分析, 确定了半黑腔与冷冻罩的铝套筒过盈配合公差带等关键参数, 制定了装配系统技术指标, 设计了系统方案, 研制了实验样机。该样机具有12个电控台, 重复定位精度达到0.3 μm和0.01°, 并配备激光测头和6轴微力传感器, 对靶件姿态与套装过程中的受力情况进行检测, 可完成半黑腔套入与入射孔衬垫装配两道工序。利用该样机对模拟靶件进行了装配实验, 半黑腔与铝套筒同轴度为8 μm, 轴向与径向夹角优于0.5°, 验证了装配工艺与系统功能的有效性。
惯性约束聚变 点火靶 半腔套装 半自动装配系统 ICF fusion ignition hohlraum assembly precision robotic system 强激光与粒子束
2014, 26(2): 022018
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
针对惯性约束聚变靶零件的特点和靶装配应用环境, 研制了一种多用微夹持器。该微夹持器以压电陶瓷驱动柔性钳体, 集成张合量和夹持力控制功能, 可更换各种形状夹口和调整夹口初始开口距离, 以适应多种靶零件的夹持。利用有限元分析方法对钳体柔性机构进行了优化设计。通过检测钳体张合时不同部位柔性铰链的应变量, 实现了张合量和夹持力的独立控制, 并对张合量和夹持力进行了精确标定。实验结果表明：微夹持器张合量达到1 320 μm, 其控制分辨力为5 μm；夹持力为365.0 mN, 其控制分辨力1.3 mN。
微夹持器 柔性铰链 微力检测 有限元分析 ICF靶 microgripper flexure hinge micro-force detection finite element analysis ICF target
