中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029
总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向。并介绍了合肥国家同步辐射实验室长程面形仪的进展。
非球面 光学检测 斜度测量 轮廓测量仪 长程面形仪
1 中国科学技术大学物理系,安徽,合肥,230026
2 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230027
采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明.用Nd:YAG脉冲激光器1.064 μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有极好的离焦宽容性的宽焦斑,但焦斑顶部不均匀性较大.对此进行了深入的模拟分析,结果表明:焦斑顶部较大的光强调制主要来源于现有的工艺及实验条件误差.
应用光学 衍射光学元件 准梯度下降法 镂空掩膜板 离子束刻蚀 applied optics diffractive optical element quasi-gradient descent algorithm hollowed-out mask ion beam etching system
1 中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230027
2 中国科学技术大学物理系, 合肥 230026
介绍了用于“神光II"装置类环形光束输出整形的纯位相元件的设计方法,研究了该元件对于实际系统中非理想波面及位相随机畸变的宽容度等问题, 并且计算了不同条件下的光束质量。
纯位相元件 光束整形 类环形光束 自洽迭代 光束质量
1 中国科学技术大学物理系 合肥 230026
2 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥 230027
研究了连续工艺衍射光学元件在实际系统中的宽容度问题,模拟了非理想入射波、系统非共轴以及焦面定位对均匀照明的影响,提出了系统定位精度的重要性,并为实际工程检测提供了有意义的参数。
纯位相元件 光场均匀化 波形畸变 非共轴 传输
1 中国科学技术大学物理系, 合肥 230026
2 中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
发展了用于实现ICF靶面均匀照明的大口径连续型位相元件设计的新方法，并且在工艺上进行了初步试制。等厚干涉图显示达到了预期的大口径、连续的要求。
弱位相偏离近似 汉克尔变换 离子束刻蚀
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学技术大学基础物理中心, 合肥 230029
3 中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029
报道了合肥国家同步辐射实验室软X射线束的时间相干长度的理论估算、方法和实验结果。
软X射线 同步辐射 相干长度
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科技大学国家同步辐射室实验室, 合肥 230026
大面积无支撑式透射光栅在X光学中具有重要应用。对自行研制的这种光栅的实验测试表明，这种光栅已可成功制作，可用于从实验室到天文学的X光测量或应用中。
大面积 无支撑 透射光栅 X射线
中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
利用全息光刻和离子束刻蚀技术制作了用于软X射线聚焦和色散的三种参数的高精度菲涅耳(Fresnel)波带片，给出了实验结果。
聚焦波带片 同步辐射 全息-离子束刻蚀
1 中国科学院长春物理研究所, 长春130021
2 中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
简述了单片集成光波导波分器的原理和制备工艺。并用同一根光纤传输的两波长激光束(632.8 nm，785.5 nm)测试了该器件的波分特性。实验中成功地观察到同光纤传输的两个不同波长的激光信号在波分器的输出端分离。
光通信 光波导 波分器
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法，而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展，刻蚀出了外圆直径为38～39 μm，叶长约8 μm，高约25 μm的扇叶状微结构元.
同步辐射 光刻
