1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科技大学国家同步辐射室实验室, 合肥 230026
大面积无支撑式透射光栅在X光学中具有重要应用。对自行研制的这种光栅的实验测试表明，这种光栅已可成功制作，可用于从实验室到天文学的X光测量或应用中。
大面积 无支撑 透射光栅 X射线
中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
利用全息光刻和离子束刻蚀技术制作了用于软X射线聚焦和色散的三种参数的高精度菲涅耳(Fresnel)波带片，给出了实验结果。
聚焦波带片 同步辐射 全息-离子束刻蚀
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法，而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展，刻蚀出了外圆直径为38～39 μm，叶长约8 μm，高约25 μm的扇叶状微结构元.
同步辐射 光刻
中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软Ｘ射线透射光栅的基础上[1],采用全息-离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软ｘ射线针孔透射光栅,简要地介绍了工艺过程并给出了实验结果.
全息-离子束刻蚀 软X射线 针孔透射光栅
1 中国科学院长春物理研究所, 长春 130021
2 中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
制备了三元件集成玻璃光波导器件──两个光波导短程透镜、一个光波导光栅。采用K+/Na+交换方法制备光波导。制备的器件用半导体激光测试,用CCD和示波器接收观察光信号。实验观察到光波导光栅的Bragg(布拉格)衍射,衍射效率为30%。
光波导 光波导短程透镜 光波导光栅 布拉格衍射
1 中国科技大学国家同步辐射实验室, 合肥 230026
2 中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 成都 610003
利用全息-离子束刻蚀方法研制出了聚酰亚胺薄膜为衬底的金软X射线透射光栅.研究了光栅制作中曝光量、显影条件和离子束刻蚀工艺等因素对光栅参数的影响,并给出了在惯性约束激光核聚变实验研究中的应用结果.
离子束刻蚀 软X射线透射光栅
1 西南核物理与化学研究所, 成都 610003
2 中国科学技术大学同步辐射实验室, 合肥 230026
利用(国内最近研制成功的)带聚酰亚胺膜底衬的金透射光栅与软X射线条纹相机相配合,(在LF11#激光装置上)使用波长为0.53μm的激光打靶,测量了平面Au靶软X射线时间分辨能谱。测量结果观察到了金等离子体的O带辐射强度随时间增加的现象。文章计算了光栅的衍射效率,并讨论了影响测量谱的几个关键因素。
等离子体 软X射线辐射谱 透射光栅条纹谱仪
