1 合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230009
2 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031
为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200C, 靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400C, 距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉 积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测,用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。实验结 果表明:距离增加或者温度升高都会导致类金刚石薄膜的密度和sp3/sp2的比值减小,薄膜中石墨晶粒的数量增多和体积增大。 近距离时温度的变化和低温时距离的变化对薄膜微观 结构产生的影响更明显。距离和温度的变化对类金刚石薄膜的表面形貌也产生显著的影响。
激光技术 脉冲激光沉积法 类金刚石薄膜 微观结构 表面形貌 laser techniques pulsed laser deposition diamond-like carbon film microstructure topography
1 合肥工业大学电子科学与应用物理学院， 安徽 合肥 230009
2 中国科学院安徽光学精密机械研究所， 安徽 合肥 230031
中国科学院“计划”资助课题。
薄膜 类金刚石 脉冲激光沉积法 氮气压强 微结构 傅里叶变换红外光谱
