提出了一种采用飞秒激光切割结合微细电阻滑焊制备3D金属微结构的工艺方法(微型化双工位金属箔叠层制造法，(Micro-DLOM))，并通过制备具有复杂形状的3D微型腔模具验证了该工艺方法的可行性。首先，以厚度为10 μm的0Cr18Ni9不锈钢箔为基材，在110 mW的飞秒激光功率、100 μm/s的切割速度和0.75 μm的切割补偿量下获得二维微结构，并分析了激光功率和切割速度对切割精度的影响; 然后，利用微细电阻滑焊对多层二维微结构进行热扩散焊接，通过多层二维微结构的叠加拟合形成具有曲面特征的微型腔，并对焊接区进行了X射线衍射(XRD)分析。分析发现：微细电阻滑焊所产生的热量仅使焊接区主要物相的相对含量发生了变化，而没有使该区域产生新的物相。与UV-LIGA工艺相比，本工艺可以加工具有自由曲面特征的三维微结构，并且单层钢箔越薄，成形精度越高; 与飞秒激光分层平面扫描烧蚀工艺相比，本工艺仅需切割每层二维结构的轮廓，提高了成形效率; 与微细电火花加工工艺相比，虽然所成形的微型腔表面粗糙度相对较差，但却省去了制备微电极的工艺步骤，并且不存在微电极工作过程中的损耗问题，所以可以加工深宽比不受限制的微模具。

通过双温模型(TTM)结合Richardson-Dushman方程对多脉冲飞秒激光烧蚀铜箔的热电子发射以及温度场进行了数值模拟。在模拟的过程中充分考虑了随着飞秒激光脉冲个数的改变，铜箔对飞秒激光的反射率、表面吸收率和表面吸收系数的变化等因素，部分改写了飞秒激光光源项，从而实现了多脉冲飞秒激光烧蚀铜箔的热电子发射和温度场的动态数值模拟。数值模拟发现，随着脉冲个数的增加和脉冲间隔的减小，铜箔表面的反射率和表面吸收系数将明显减小，表面吸收率将明显增大，这一变化对铜箔的电子发射以及多脉冲飞秒激光照射下铜箔的温度场具有重要影响；而随着距铜箔表面深度的增加，这些影响将逐渐减小。