分析了157 nm激光制作的光纤法珀折射率传感器的传感特性.采用干涉条纹计数的方法对法珀腔的反射光谱进行解调，避免了光强波动的影响，同时具有较宽的折射率(RI)范围.在0~70℃范围内25 μm的法珀腔腔长变化量为6.25 nm，等效折射率变化为~2.46×10－4.常温下对折射率范围为1.33~1.427的甘油(丙三醇)溶液进行了测量，实验结果曲线的相关系数为0.9951，测量准确度为~3.70×10－4.

提出了一种新型的光纤法布里-珀罗(F-P)折射率传感器,该传感器由单模光纤头端面和靠近该端面的由157 nm激光加工而成的短空气腔构成。短空气腔两个端面的反射光和光纤头端面的反射光发生干涉形成了传感器的反射谱干涉条纹。干涉条纹的对比度受光纤头端面外部的折射率影响,在干涉条纹包络的波谷处具有最大的对比度,外部待测折射率可通过计算该处的对比度得到。传感器对温度不敏感,测量范围广。在1.33至1.441范围内,折射率灵敏度约为27 dB,分辨率约为1.12×10-4; 在1.45～1.62范围内,折射率灵敏度约为24 dB,分辨率约为1.26×10-4。

157 nm准分子激光用于微加工具有单光子能量高,峰值功率高,材料吸收系数高,分辨率高等优点。利用157 nm激光微加工的方法,在光子晶体光纤上融切出微小矩形孔,从而构成腔长为45.6 μm的微光纤法布里珀罗干涉腔,得到的干涉条纹平滑,衬比度约为26 dB,并从激光与石英材料的相互作用上分析了形成较好干涉条纹的原因。把这种微腔应用于应变测量,在550 μm范围内,腔长增量相对于应变的灵敏度为0.32 nm/μm,线形度达0.9994。实验证明该微腔对温度不敏感,800 ℃范围内腔长变化仅20 nm。157 nm准分子激光加工光纤法布里珀罗腔方法简单,一次成型,具有较高的加工效率和精度,有望实现光纤法布里珀罗腔的规模化批量制造,具有较好的应用前景。