1 电子科技大学 宽带光纤传输与通信网技术教育部重点实验室，成都 610054
2 重庆大学 光电技术与系统教育部重点实验室，重庆 400044
分析了157 nm激光制作的光纤法珀折射率传感器的传感特性.采用干涉条纹计数的方法对法珀腔的反射光谱进行解调，避免了光强波动的影响，同时具有较宽的折射率(RI)范围.在0~70℃范围内25 μm的法珀腔腔长变化量为6.25 nm，等效折射率变化为~2.46×10－4.常温下对折射率范围为1.33~1.427的甘油(丙三醇)溶液进行了测量，实验结果曲线的相关系数为0.9951，测量准确度为~3.70×10－4.
导波光学 折射率传感器 光纤法珀腔 准分子激光微加工 Wave-guided optics Refractive index sensor Optical fiber F-P cavity Excimer laser micromachining
