朱嘉诚 1,2赵知诚 1,2刘全 1,2,*陈新华 1,2[ ... ]沈为民 1,2,**
作者单位
摘要
1 苏州大学光电科学与工程学院,江苏 苏州 215006
2 江苏省先进光学制造技术重点实验室 & 教育部现代光学技术重点实验室,江苏 苏州 215006
3 北京空间机电研究所,北京 100094
根据静止轨道特点,分析设计覆盖近紫外至长波红外波段的成像光谱仪光学系统,将0.3~12.5 μm的光学全谱段细分为5个子谱段并集成于光学系统,每个子谱段均采用4个分光系统在视场内拼接实现宽幅所需的超长狭缝,狭缝总长最长达241.3 mm,通过内扫描实现400 km×400 km地面覆盖。重点研究满足拼接要求的紧凑型长狭缝分光系统,指出其实现高保真分光成像需满足低畸变、低杂散、高信噪比、均匀光谱响应等条件。据此,设计基于凸面闪耀光栅的Offner型和Wynne-Offner型高保真分光系统,并研制各个子谱段的原理样机。给出全谱段长狭缝和凸面闪耀光栅两种核心元件的研制结果,单条狭缝最长达61.44 mm,5个谱段的光栅槽密度范围为8.8~312.1 lp/mm,峰值效率均在70%以上,最高达86.4%。以可见近红外和长波红外两个谱段为例,给出分光系统装调和测试过程,结果表明所研制的分光系统具有高保真性能,各项指标均满足要求。
光学设计 成像光谱仪 全谱段 高保真 静止轨道 凸面闪耀光栅 
光学学报
2023, 43(8): 0822018
作者单位
摘要
1 苏州大学 光电科学与工程学院 & 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006
2 江苏省先进光学制造技术重点实验室 & 教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
利用严格耦合波理论分析了用于520 nm波长飞秒激光制备光纤光栅的相位掩模的衍射特性, 当相位掩模是矩形槽形时, 占宽比在0.32~0.43之间, 槽形深度在0.57~0.67 μm之间时, 能够保证零级衍射效率抑制在2%以内, 同时±1级的衍射效率大于35%。在此基础上, 利用全息光刻-离子束刻蚀技术, 制作了用于520 nm波长飞秒激光的周期为1 067 nm、有效面积大于40 mm×30 mm的相位掩模。实际制作的相位掩模是梯形槽形, 槽深是0.665 μm, 分析了梯形槽形中梯形角对衍射效率的影响。实验测量表明, 该相位掩模的零级衍射效率小于2%, ±1级衍射效率大于40%,满足飞秒激光制作光纤光栅的需要。
全息光刻 相位掩模 严格耦合波理论 离子束刻蚀 衍射效率 holographic lithography phase mask rigorous coupled-wave theory ion beam etching diffraction efficiency 
光学 精密工程
2020, 28(4): 844
杨福臻 1,2陈新华 1,2,*赵知诚 1,2刘全 1,2沈为民 1,2
作者单位
摘要
1 苏州大学光电科学与工程学院教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
2 苏州大学光电科学与工程学院江苏省先进光学制造技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
设计了一种用于小行星探测的宽波段可见-红外Offner型光谱成像光学系统。该系统的工作波段覆盖0.4~2.7 μm,其可见-近红外(VNIR)通道( 0.4~1.0 μm )和短波红外(SWIR)通道(1.0~2.7 μm) 的F数分别为6和3。通过求解及优化初始结构,设计完成的光学系统点列图直径小于单个像元尺寸,且在Nyquist频率处的调制传递函数(MTF)值不小于0.51。为改善系统的光谱响应,满足宽波段成像的需求,系统中的凸面光栅被分成两个具有不同周期的区域,分别工作在VNIR通道和SWIR通道。根据光学设计结果,开展原理样机研制并进行性能测试。测试结果表明,研制得到的光学系统成像质量良好,满足设计指标要求。
光学设计 空间探测 光谱成像仪 凸面光栅 
光学学报
2020, 40(7): 0722002
刘全 1,2,3,*吴建宏 1,2,3郭培亮 1陈新华 1,2,3
作者单位
摘要
1 苏州大学光电科学与工程学院, 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006
2 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
3 苏州大学教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
基于严格耦合波分析,研究凸面闪耀光栅的衍射特性;采用全息光刻-离子束刻蚀法制作中心周期为2.45 μm、曲率半径为51.64 mm、口径为17 mm的凸面闪耀光栅,闪耀角为6.4°,顶角为141°。结果表明,在整个可见-近红外波段,所制作光栅的1级衍射效率大于40%,在闪耀波长处1级衍射效率大于75%。
光栅 凸面闪耀光栅 全息光刻 离子束刻蚀 衍射效率 
中国激光
2019, 46(3): 0313001
朱嘉诚 1,2,*靳阳明 1,2黄绪杰 1,2刘全 1,2,3沈为民 1,2
作者单位
摘要
1 苏州大学 物理与光电·能源学部 教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
2 苏州大学 物理与光电·能源学部 江苏省先进光学制造技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
3 苏州大学 物理与光电·能源学部 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006
凸面闪耀光栅是研制高光谱分辨率成像光谱仪的关键元件之一, 一般凸面闪耀光栅的有效波段范围较窄, 较难满足宽波段成像光谱仪对光栅衍射效率的需求。为拓宽仪器观测波段, 对其中凸面闪耀光栅进行了优化设计。以0.4~2.5 μm波段Offner型成像光谱仪为例, 研究了凸面光栅单衍射级和双衍射级共路两种色散结构, 采用分区闪耀光栅和双角闪耀光栅来提高宽波段范围内的衍射效率。优化设计了两种双闪耀光栅在不同色散结构下的槽形, 用标量理论和有限元分析等方法对光栅衍射效率进行了计算。结合仪器信噪比, 给出了满足成像光谱仪不同需求时所适用的光栅。
宽波段 分区闪耀光栅 双角闪耀光栅 衍射效率 信噪比 broadband partitioned blazed grating dual-angle blazed grating diffraction efficiency SNR 
红外与激光工程
2017, 46(11): 1120003
作者单位
摘要
1 苏州大学 物理与光电·能源学部 苏州纳米科技协同创新中心, 江苏 苏州 215006
2 苏州大学 江苏省先进光学制造技术重点实验室 教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
针对强激光系统中常用的1 053 nm激光器进行了偏振光栅结构的优化设计。利用严格耦合波理论分析了光栅偏振器的衍射特性及消光比, 分析显示偏振光栅周期为600 nm, 占宽比为0.535~0.55, 槽形深度为1 395 nm~1 420 nm时, 可保证其在1 053 nm波长下, 透射率高于95%, 消光比大于1 500。基于分析结果, 利用全息光刻技术制作了高质量光刻胶光栅掩模, 并采用倾斜转动的离子束刻蚀结合反应离子束刻蚀的方法对该光刻胶光栅掩模进行图形转移, 制作了底部占宽比为0.54, 槽形深度为1 400 nm的光栅偏振器。实验测量显示其透射率为92.9%, 消光比达到160。与其他制作光栅偏振器方法相比, 采用单光刻胶光栅掩模结合倾斜转动的离子束刻蚀工艺, 不但简化了制作工艺, 而且具有激光损伤阈值高、成本低的优点。由于该技术可制作大面积光栅, 特别利于在强激光系统中应用。
高功率激光系统 光栅偏振器 严格耦合波理论 全息光刻 离子束刻蚀 high power laser system grating polarizer rigorous coupled-wave theory holographic lithography ion beam etching 
光学 精密工程
2016, 24(12): 2962
作者单位
摘要
1 江苏科技大学数理学院, 江苏 镇江 212003
2 苏州大学信息光学工程研究所, 江苏 苏州 215006
凸面闪耀光栅是研制高光谱分辨率超光谱成像系统的关键器件之一。由于要求的闪耀角度一般较小,制作工艺难度大,其衍射效率与理论值有较大差距,一直制约其应用。针对上述问题与难点进行了分析,通过光刻胶光栅掩模制作和Ar+离子束刻蚀等工艺制作了凸面闪耀光栅。针对离子束大掠入射刻蚀凸球面时槽形闪耀角不易一致的难题,利用转动扫描刻蚀实现了球面上的闪耀光栅刻蚀,最终制作出了约4.3°闪耀角的凸面闪耀光栅,在400~800 nm波段范围内,其+1级衍射光效率均值达40%以上。
衍射光栅 凸面闪耀光栅 全息光刻 Ar+离子束刻蚀 衍射效率 
光学学报
2011, 31(4): 0405002
作者单位
摘要
1 苏州大学信息光学工程研究所, 江苏 苏州 215006
2 璨飞光学(苏州)有限公司研发处, 江苏 苏州 215000
利用严格耦合波理论分析了线性啁啾相位掩模的衍射特性,得到只有当相位掩模的占宽比在0.37~0.50之间,槽形深度在242~270 nm之间时,才能保证零级衍射效率小于2%,同时正负一级的衍射效率大于35%。在此基础上,利用全息-离子束刻蚀和反应离子束刻蚀相结合的新方法,制作了中心周期为1000 nm,啁啾率1 nm/mm,有效面积为100 mm×10 mm的线性啁啾相位掩模。发现先用短时间Ar离子束刻蚀对光刻胶光栅掩模槽形进行修正,然后采用CHF3反应离子束刻蚀,能得到更合适的占宽比,从而确定了刻蚀新工艺。实验测量表明其零级衍射效率小于2%,正负一级衍射效率大于35%,最大非线性系数为1.6%。理论分析表明该相位掩模能够满足制作线性啁啾光纤光栅的需要。
衍射与光栅 线性啁啾相位掩模 严格耦合波理论 离子束刻蚀 衍射效率 
中国激光
2009, 36(3): 677
作者单位
摘要
北京应用物理与计算数学研究所,北京,100088
研制可靠的数值模拟工具对Z箍缩内爆产生X光辐射过程进行理论研究、实验分析以及负载设计至关重要.介绍了2维三温辐射磁流体力学程序(MARED)的物理方案,给出了MARED程序的1维检验结果,验证表明MARED程序适用不同装置条件、不同负载参数.结合丝阵Z箍缩实验的数值模拟和分析表明:相同负载质量条件下,钨丝阵内爆产生的X光辐射功率远大于铝丝阵产生的X光功率;相同负载电流条件下,负载质量越大,计算得到X光功率越低;X光功率随着负载电流增加而增加.
Z箍缩 内爆等离子体 丝阵负载 MARED程序 数值模拟 X光辐射 
强激光与粒子束
2008, 20(2): 212
作者单位
摘要
1 南京信息职业技术学院微电子工程系,江苏,南京,210046
2 苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006
为了研究镀铬对光刻胶光栅掩模槽形的影响,分析了铬膜反射引起的沿垂直光刻胶表面的驻波效应.分析表明驻波效应的对比度为0.28,不能忽略.将镀铬基底与普通的玻璃基底的掩模槽形对比,发现明显的不同.槽形模拟表明这种不同是由于驻波效应引起的.驻波效应会使掩模形成阶梯结构,且阶梯高度差正好为驻波波节间距离.
衍射光栅 全息光栅掩模 铬膜 槽形 
光学仪器
2007, 29(6): 81

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