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同名作者【刘庭芝】论文列表

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用锌有机源和CO₂/H₂混合气源PECVD沉积ZnO薄膜

张萌 ^1,2,*王应民 ¹徐鹏 ¹蔡莉 ²[ ... ]刘庭芝 ¹

作者单位

摘要

¹ 南昌大学材料科学与工程学院, 南昌 330047

² 南昌航空工业学院材料科学与工程学院, 南昌 330034

³ 北京师范大学材料系, 北京 100871

在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜。X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰。

薄膜光学等离子体增强化学气相沉积

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光学学报

2006, 26(4): 639

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