利用低压等离子体增强化学气相沉积技术制备碳氢辉光放电聚合物(GDP)和全氘代辉光放电聚合物(D-GDP)薄膜。利用表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪和纳米压痕技术对制备的样品进行表征, 讨论了GDP/D-GDP薄膜的沉积速率、化学结构和力学性能在ICF物理实验用靶应用中的优缺点。结果表明: GDP/D-GDP薄膜的沉积速率都随反应气体流量比例近线性增加, GDP的沉积速率达到2.6 μm, D-GDP的沉积速率达到1 μm, GDP的沉积速率远大于D-GDP的沉积速率; D-GDP薄膜内部的交联化程度较弱, D-GDP更有利于靶丸内燃料的红外均化; GDP的力学性能明显优于D-GDP, 更有利于ICF物理实验用靶的燃料填充与装配操作。

利用磁控溅射制备了各种工艺参数不同的微球表面金属Mo涂层样品,并通过白光干涉仪和扫描电子显微镜对样品的表面及剖面进行了系统的测试分析。分别探究了溅射工作气压和沉积制备时间对微球表面Mo涂层表面形貌以及结晶质量的影响规律。结果表明通过优化工艺参数可制备微球直径约为800 μm、涂层厚度为3.5 μm到14.1 μm、厚度均匀性良好的微球表面Mo涂层。Mo涂层中的晶粒呈现出柱状结构致密堆积在一起,且随涂层的厚度增加晶粒间空隙增大。