北方夜视科技集团有限公司 微光夜视技术重点实验室，陕西 西安 710119
为了解决三代像增强器管内阴极灵敏度下降问题，用质谱计对激活工艺过程进行质量检测，并确定了激活工艺参数，通过对阴极原子级洁净表面获得和激活铯、氧提纯工艺参数优化研究，对制备的透射式GaAs阴极光电发射稳定性进行在线试验，结果表明：在10-9 Pa真空环境中，优化工艺激活的光电阴灵敏度(1 500 μA/lm)稳定，而且500 h不下降，铟封到管内的阴极灵敏度下降与真空度降低和有害气体污染有关。
三代像增强器 透射式 光电发射 稳定性 管内灵敏度 3rd generation image intensifier transmissive photoemission stability sensitivity in tube
1 微光夜视技术重点实验室, 陕西 西安 710065
2 北方夜视科技集团股份有限公司, 云南 昆明 650223
为了解决防离子反馈Al2O3膜污染对三代微光管GaAs光电阴极灵敏度的影响, 用四级质谱计对制管超高真空室残气、无膜微通道板(MCP)和带Al2O3膜MCP在电子轰击时的放气成份进行分析。结果表明, 带Al2O3膜MCP放出有对阴极光电发射有害的C、CO、CO2、NO、H2O2和CXHY化合物, 它们来源于Al2O3膜制备过程的质量污染。经过对制膜工艺质量进行改进, 制备出了放气量小于2×10-9 Pa且无CXHY化合物气体的Al2O3膜。
Al2O3膜 防离子反馈 电子轰击 质量污染 Al2O3 film ion barrier MCP MCP electron bombardment quality pollution
