研究了1.1 m大口径镀膜机热蒸发制备金属铝膜的膜厚均匀性问题，针对旋转平面夹具分析了夹具高度H以及蒸发源与真空室中心轴距离L对铝膜膜厚均匀性的影响。当 L=400 mm，H/L=1.10时，膜厚均匀性最好，不均匀性为9.614%，不均匀性随H/L的值增大而增大。当H=500 mm，H/L=1.47时，膜厚均匀性最好，不均匀性为4.487%，不均匀性随H/L的值减小而增大。进而引进了一个修正挡板函数，提出并设计了合适的修正挡板，膜厚均匀性由不加修正挡板时的17.8%改善到3.9%，从而解决铝薄膜厚度均匀性问题。

为探究塑料镜片在高湿环境下透过率下降和高温环境下容易发生膜裂现象的原因, 选取 Ti3O5、SiO2作为高、低折射率材料, 使用 TFCalc进行膜系设计及优化, 采用电子束蒸发工艺得到 420~880nm、平均反射率 R 1%的减反射膜。测试结果表明: 四种工艺参数下镀膜后的塑料镜片在 85℃、85RH的环境下 24h后, 透过率下降小于 1%; 在 120℃的环境下 24h后, 2#和 4#镜头出现了膜裂现象。增加膜层的聚集密度可以有效提升塑料镜片的防水性能和抗高温性能。

通过电子束热蒸发技术在K9玻璃上镀制光学厚度为λ/4的TiO2薄膜,研究不同沉积速率和沉积角度对TiO2薄膜散射损耗的影响规律和机理,并利用TalysurfCCI白光干涉表面轮廓仪和Horos散射仪分别测量镀制前后薄膜表面粗糙度和双向反射分布函数。实验结果表明:TiO2薄膜表面粗糙度随着沉积速率的增大而减小,最终趋于0.88 nm,且实验值都小于基底表面粗糙度1.5 nm,说明TiO2薄膜可以降低基底表面粗糙度,具有平滑基底的作用。随着入射沉积角的增大,薄膜的表面粗糙度逐渐增大,当沉积角为0°和20°时,薄膜表面粗糙度小于基底表面粗糙度;当沉积角为40°和60°时,薄膜表面粗糙度大于基底表面粗糙度。薄膜表面散射量随表面粗糙度的减小而降低,两者具有正相关关系,实验数据与理论计算结果相吻合;当薄膜表面粗糙度小于基底粗糙度时,薄膜表面散射将低于裸基底的表面散射,可实现减散射的效果。