1 北京市劳动保护科学研究所, 北京 100054
2 中国科学院 电子学研究所, 北京 100190
为了分离永久性气体及低碳轻化合物, 基于MEMS技术, 研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比, 色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术, 这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道, 这是其他化学腐蚀技术无法比拟的。研制的色谱柱其沟道横截面为1.2 mm(深度)×0.6 mm(宽度), 深宽比为2∶1。实验结果表明, 这种微型填充柱, 具有较大的样品容量, 能很好的实现CO和SO2的分离。
微型填充式气相色谱柱 微型色谱系统 分离效率 样品容量 micro packed gas chromatography column micro gas chromatography system separation efficiency sample capacity 强激光与粒子束
2016, 28(6): 064122
中国工程物理研究院 核物理与化学研究所， 四川 绵阳 621900
采用电子束镀膜方法在Si基底上制备了Sc膜，利用XRD,SEM分析了不同镀膜工艺条件下制备的Sc膜的形貌和结构。结果表明：基底温度在350～550 ℃时，薄膜主要由单质Sc组成，而且随着基底温度的升高，膜的颗粒尺寸增大，膜也变得更加致密；基底温度提高至650 ℃时，膜全部由ScSi化合物组成，膜变成颗粒状结构。沉积速率对低温时Sc膜的形貌与结构的影响不明显，颗粒尺寸随沉积速率的增大而增大，但物相结构基本没有发生变化；而在高温650 ℃时，沉积速率对膜的形貌与结构产生了很大的影响，随着沉积速率的增大，膜表面出现了大量微裂纹，而且较低的沉积速率有利于获得衍射峰单一的膜，增大沉积速率将会导致衍射峰数量明显增加。
钪 电子束镀膜 基底温度 沉积速率 形貌 scandium electron beam deposition substrate temperature deposition rate morphology
